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ENGINEER(エンジニア) ウェハー用ピンセット(クリーンルーム) PTZ-01

ENGINEER(エンジニア) ウェハー用ピンセット(クリーンルーム) PTZ-01

価格:25,402円(税込) 送料別 カード利用可

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販売店舗:KanamonoYaSan KYS

■特性 項  目 特性値 密 度(kg/M3) 3.21×103 曲げ強度(kgf/mm2) 80 引張り強度(kgf/mm2) 60 ヤング率 (kgf/mm2) 50,000 硬 さ  (kgf/mm2) HK:3,500 線膨張係数(I/℃) 4.5×10−6 熱伝導率 (cal/cm・s・℃) 0.16 比抵抗  (Ω・m) 102 (※)室温での値 ■耐食性 雰囲気 温度(℃) 時間(h) 重量変化 6N HCI 沸点. (110) 1470 認められず 9N HNO3 沸点. (116) 19N H2SO4 沸点. (128) 弗硝酸 17%HF. 83%HNO3 室温 532 王水 80 186 大気中 1500 146 HCIガス 1200 25 ■不純物含有量 元 素 Cu K Mo Fe Cr Zn Mn W Na Co La Ag Hf Au Sc 濃度(単位:ppb) <100 <60 <40 35 26 9 9 <4 <2 1.3 0.8 0.8 0.32 <0.09 <0.01 エンジニア ウェハー用ピンセット(クリーンルーム) PTZ-01 超高純度CVD-SiC単体を先端ビットに使用したシリコンウェハー専用ハイテクピンセット  特 長 ●真空蒸着(CVD)法による不純物ppbレベルの   超高純度SiC(炭化ケイ素)を先端ビットに装着   した画期的な製法によるシリコンウェハー専用   ピンセット。 ●従来のステンレス製ピンセットの重大な欠点  であったシリコンウェハーへの重金属汚染が全   くありません。 ●耐薬品性と耐熱性に極めて優れ、弗硝酸等に   よるウェハー洗浄工程での使用も可能です。 ●軽量(ρ=3.8)、非磁性、耐摩耗性に優れる等   の特徴もあります。 ●ピンセット本体は、耐食性、非磁性、軽量等の   特性を備えたチタン合金製です。   全長150mm ●先端形状 A:11mm B:9mm  C:2mm D:3.6mm E:2.4mm ●最大6インチウェハーまで保持できます。 ■クリーンパック PTZ-01は超純水による洗浄後、.  クリーンパックされております。. (保証値 クラス100〜1000相当) ※S i C 単体は非常に脆いので、ご使用中だけでなく、保管・   洗浄、運搬中における先端の保護にも充分ご注意下さい。 ※先端が破損した場合には、本体ごと返送下さい。先端のみの   取替えも可能です。 ◆お取寄せ商品となります。発送までに1〜2日かかる場合がございます。    メーカー様在庫状況によりお届け期間が前後する場合がございます。 入荷までお時間がかかる場合メールにてお知らせいたします。...続きを読む